拉曼電鏡聯(lián)用系統(tǒng)出現(xiàn)帶來行業(yè)全新變革，它通過方便、高性能的拉曼分析，彌補了傳統(tǒng)電鏡和能譜分析能力的不足。尤其是針對有機結(jié)構(gòu)解析、碳結(jié)構(gòu)解析、無機相鑒定、同分異構(gòu)分析、結(jié)晶度分析等領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了重大突破，擴展了掃描電鏡的分析應(yīng)用領(lǐng)域，能夠全面分析，應(yīng)用前途一片光明。
其實，電鏡-拉曼的聯(lián)用概念并不新鮮，早在十年多前，就有拉曼廠商開始在掃描電鏡上安裝拉曼光譜儀，實現(xiàn)初步聯(lián)用。不過由于技術(shù)和適用性的限制，拉曼聯(lián)用技術(shù)未能獲得成功，在電鏡上配備拉曼聯(lián)用的*，甚至很多人都未知曉SEM和拉曼的聯(lián)用，究其根本原因，還在于傳統(tǒng)的拉曼聯(lián)用技術(shù)有著非常嚴重的技術(shù)障礙。
拉曼電鏡聯(lián)用系統(tǒng)有別于傳統(tǒng)的聯(lián)用系統(tǒng)，它并不是簡單的將兩個獨立的儀器拼湊到一起，要使得它具有較高的實用性，需要對原來各自的儀器的硬件和軟件都進行改進和新的設(shè)計。原先系統(tǒng)的共軸式設(shè)計有太多的缺點，很難在實用性上達到令人滿意的要求，所以在設(shè)計開發(fā)全新的拉曼電鏡聯(lián)用系統(tǒng)時摒棄了共軸式設(shè)計的方案，而采用了平行軸式設(shè)計，即電子束和激光束不重合，而是兩者相平行。
這樣做首先不影響電鏡各種探測器工作的需要，而拉曼也保留了包括物鏡在內(nèi)的全部光學裝置，這樣和普通獨立的拉曼在硬件上保持一致，也保證了拉曼信號的采集效果。特殊的樣品臺負責試樣在電子束下和激光束下的切換傳輸。該樣品臺定位極其精準，可以確保試樣能夠在兩個分析束下的精準定位。此外，為了確保電子束和拉曼激光束的重合，還專門開發(fā)了相關(guān)校準技術(shù)。
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