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      TESCAN MAIA3分析用掃描電子顯微鏡

      簡要描述:MAIA3是新開發(fā)的分析用掃描電子顯微鏡,它可以得到在15kV下1nm的超高分辨率。采用二次電子信號,在1kV下分辨率為1.4nm。此型號電鏡配備肖特基場發(fā)射電子槍,以及TESCAN*的三透鏡電子光學系統(tǒng)。相比于常規(guī)物鏡,它采用了TESCAN*構(gòu)造的60度磁浸沒物鏡,它能顯著地減小光學像差,在低電壓下依然有著超高的分辨率。

      • 產(chǎn)品型號:MAIA3
      • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
      • 更新時間:2025-05-07
      • 訪  問  量:2096

      詳細介紹

      TESCAN MAIA3分析用掃描電子顯微鏡

      MAIA3是新開發(fā)的分析用掃描電子顯微鏡,它可以得到在15kV1nm的超高分辨率。采用二次電子信號,在1kV下分辨率為1.4nm。此型號電鏡配備肖特基場發(fā)射電子槍,以及TESCAN*的三透鏡電子光學系統(tǒng)。

      相比于常規(guī)物鏡,它采用了TESCAN*構(gòu)造的60度磁浸沒物鏡,它能顯著地減小光學像差,在低電壓下依然有著超高的分辨率。另外,添加的中磁透鏡可以和物鏡同時使用或者代替物鏡觀察,以提供多種顯示模式。

      zui重要的特性:

      u  具有非凡分辨率的單極60度角物鏡;

      u  無場模式用于磁性樣品的觀察;

      u  高亮度肖特基電子槍可得到高分辨率/高束流/低噪聲的圖像;

      u  鏡筒中的In-Beam二次電子探測器用于小工作距離條件下二次電子的檢測;

      u  *的三透鏡大視野觀察設(shè)計,提供了多種工作模式和顯示模式,體現(xiàn)了TESCAN專有中間透鏡IML的功能;

      u  實時電子束追蹤技術(shù),可模擬和進行束斑優(yōu)化,包括直接和連續(xù)控制電子束束斑和束流大小;

      u  電子束減速模式在低電壓下獲取優(yōu)秀的分辨率(選配)

      u  In-Beam背散射電子探測器用于小工作距離的背散射電子成像;

      u  成像速度快;

      u  高通量大面積自動化,例如自動顆粒分布和分析;

      u  計算機優(yōu)化、馬達驅(qū)動的樣品臺;

      u  利于EDXEBSD分析的理想幾何設(shè)計;

      u  由于使用了強力的渦淪分子泵和機械泵,因而可以快速簡單得到干凈的真空樣品室;電子槍的真空度由離子泵來維持;

      u  包括電子光學設(shè)置和校準的全自動顯微鏡設(shè)置;

      u  完善的軟件用于SEM控制,圖像采集、存檔、處理和分析;多用戶多語言操作界面;

      u  網(wǎng)絡(luò)操作和內(nèi)置的遠程控制/診斷是TESCAN的標準配置;

      u  *的3維電子束技術(shù)用于獲得實時立體圖像。


      袁文軍  +86-21-31255909    +86-21-      :yuanwenjun@sunano.com.cn


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